Sensore di temperatura è umidità per u schema di cuntrollu di l'umidità di a temperatura di a stanza pulita à semiconductor
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A temperaturaèL'umidità di u spaziu pulitu hè principalmente determinata secondu i bisogni di u prucessu, ma sottu à a cundizione di risponde à i bisogni di u prucessu, u sensu di cunfortu deve esse cunsideratu.Cù a migliione di e esigenze di purificazione di l'aria, ci hè stata una tendenza di esigenze sempre più strette per a temperatura è l'umidità.
Cum'è a precisione di trasfurmazioni hè più è più fina, cusì a variazione di a temperatura hè menu è menu.Per esempiu, in u prucessu di esposizione litografica di a pruduzzione di circuiti integrati à grande scala, a diffarenza di u coefficiente di espansione termica trà u vetru è u wafer di siliciu cum'è materiale di maschera hè necessaria per esse più chjuca è più chjuca.Diametru 100 um silicio wafer, temperature aumentu 1 gradu, pruvucarà 0.24um espansione lineari, cusì ci deve esse una temperatura di ± 0.1 gradi, à u listessu tempu u valore di umidità hè in generale bassu, perchè a ghjente suduri, u pruduttu avarà a contaminazione, in particulare a paura di attellu di semiconductor di sodiu, stu attellu ùn deve micca più di 25 gradi.
L'alta umidità causa più prublemi.Quandu l'umidità relativa supera u 55%, a rugiada si formarà nantu à u muru di u tubu di l'acqua di rinfrescante, chì pruvucarà diversi accidenti s'ellu succede in i dispositi di precisione o circuiti.Quandu l'umidità relativa hè di 50%, hè faciule di rust.Inoltre, quandu l'umidità hè troppu alta, a polvera appiccicata à a superficia di u chip di siliciu serà adsorbitu chimicamente nantu à a superficia per resiste à a rimozione.A più alta hè l'umidità relativa, l'aderenza hè difficiuli di sguassà, ma quandu l'umidità relativa hè più bassa di u 30%, i particeddi sò faciuli adsorbe nantu à a superficia per via di l'azzione di a forza elettrostatica, è un gran numaru di dispusitivi semiconductor sò. propensu à a rottura.A temperatura ottima per a produzzione di wafer hè 35-45%.
Dunque, u cuntrollu di a temperatura è l'umidità hè particularmente impurtante, HENGKO pò furnisce una serie ditrasmettitore di temperatura è umidità suluzione di trasfurmazioni persunalizati!
Sensore di temperatura è umidità per u schema di cuntrollu di l'umidità di a temperatura di a stanza pulita à semiconductor
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