Filtri di tenuta C à montaggio superficiale IGS ad alte prestazioni per sistemi di consegna di gas semiconduttori
Descrizzione
I filtri HENGKO à montaggio superficiale sò cuncepiti per risponde à i requisiti esigenti di i sistemi di gas integrati utilizati in l'arnesi OEM à semiconduttori. Offrendu una filtrazione leader di l'industria à 0,003 µm, questi filtri garantiscenu prestazioni è affidabilità eccezziunali cù un'efficienza di intercettazione di particelle di ≥99,9999999% (9-LRV) à 120 slpm.
Custruiti da robusta polvere d'acciaio inox 316L sinterizzata per l'elementu filtrante è l'alloggiamentu, sti filtri sò conformi à e specifiche SEMI F86-0304, cù cumpunenti à dui porti adattati per sistemi di distribuzione di gas da 1,125" cù una cunfigurazione C-seal. Supportanu una pressione d'entrata massima di 3,4 MPa à 100°C è una differenza di pressione operativa massima di 0,69 MPa à 100°C.
Questi filtri spezializati, cumpatibili cù e specificazioni di guarnizione di tipu C è di tipu W, ottenenu una pulizia à valle cù u rilasciu di particelle di
Cù una finitura superficiale di Ra< 1,6 µm à l'esternu è Ra< 0,13 µm à l'internu, sò cuncipiti per sustene temperature elevate finu à 460 ° C. Cuncepiti per una facile integrazione è aghjurnamenti di cuncepimentu mudulare, sti filtri simplificanu l'installazione è a manutenzione, aiutendu à ottimizà e prestazioni di u sistema in l'applicazioni di consegna è cuntrollu di gas semiconduttori.
Caratteristica di u produttu
▶ Custruzzione generale in acciaio inox 316L
▶ Design miniaturizatu, struttura compatta, risparmiu di spaziu
▶ Eccellenti caratteristiche di rimpiazzamentu di gas è di desorbimentu
▶ Resistente à alta temperatura, alta pressione è corrosione
▶ Custodia in acciaio inox 316L elettrolucidata
▶ Installazione è manutenzione faciule è efficiente
▶ Sigillatura meccanica, strutturalmente micca saldata à u fluidu
Scheda tecnica
| Parametri tecnichi | Valori |
|---|---|
| Materiale di l'elementu filtrante | Polvere sinterizzata in acciaio inox 316L |
| Materiale di l'alloghju | Acciaiu inox 316L |
| Pressione massima d'entrata | 3,4 MPa à 100°C |
| Differenziale operativu massimu | 0,69 MPa à 100°C |
| Verificazione di l'eliu - Tassa di perdita | 1x10⁻¹¹ cc/min |
| Tassa di Fuga di a Prova di l'Eliu | 1x10⁻⁹ cc/min |
| Trattamentu di Superficie | Superficie Esterna Ra< 1,6 μm |
| Superficie Interna Ra< 0,13 μm | |
| Temperatura massima di funziunamentu | 460°C |
| Efficienza di l'intercettazione di e particelle | ≥99,9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (MPPS di riferimentu, tutte e particelle) |
| Pulizia à valle | Liberazione di particelle:< 0,03 particelle/litru (< 1 particella/ft³) |
| Volatili:< 10 ppb d'umidità | |
| Dimensione di l'intercettazione di e particelle | ≥0,003 μm |
| Gamma di flussu | 0 ~ 120 slpm |
Dimensione
Eccu u numeru di parte chì pudete urdinà è i dettagli di taglia:
| Modellu di u produttu | Flussu | Altezza H (mm) | Precisione di filtrazione | Livellu di pulizia |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51.6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82.9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167,9 | 0,003 μm | C |
Applicazioni tipiche
Per l'usu cù W-seal è C-seal, sistemi modulari di furnitura di gas à montaggio superficiale da 1,125" è 1,5".
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