Diffusori di camera di metallo poroso di alta purezza HENGKO Pietra per filtrazione di gas di alta purezza à semiconductor
I Diffusori di Metalli Porosi HENGKO ventilanu rapidamente e camere di vacuum à l'atmosfera chì diminuite u tempu di ciclu è aumenta u throughput.I nostri diffusori d'acciaio inossidabile furniscenu flussi di gas uniformi è laminari senza particelle disturbanti in a camera.Questi diffusori di metalli porosi eliminanu ancu e particelle di più di 0,1 µm da u gasu entrante, minimizendu i difetti nantu à a wafer.
I diffusori d'acciaio inossidabile ponu sustene pressioni operative più elevate è mantene l'integrità di u produttu - a vita più longa in l'industria.È, per a resistenza à a corrosione chì hè superiore à u nichel, aduprate Diffusori HENGKO High Purity.
Applicazioni
I Diffusori di Metalli Porosi HENGKO sò usati in applicazioni di ventilazione in camere di serratura di carica, camere di trasferimentu, camere di rinfrescamentu è camere di prucessu di interfacce d'equipaggiu Semiconductor (CVD, PVD, Etch, Epi) o altre camere di vacuum.
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